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控制室

W 23.6 IN，H 66.9 IN，D 31.4 IN

CHAMBER：

W 14.1 IN，H 5.9 IN，D 10.2 IN

房間卷

APPROX.30 LITERS

天然氣供應

2 GAS CHANNELS VIA MFCS

發生器

清潔劑TETRA-30-LF-PC

技術數據

控制柜：

寬31.5英寸，高23.6英寸，深19.7英寸

腔室：

寬9.4英寸，高5.9英寸，

深9.4英寸

腔室容積：

約30升

供氣：

通過MFC的1個氣體通道

清潔劑TETRA-100-LF-PC

技術數據

控制柜：

寬78.7英寸，高86.6英寸，

深78.7英寸

腔室：

寬27.5英寸，高7.9英寸，

深27.5英寸

腔室容積：

約100升

供氣：

通過MFC的3個氣體通道

清潔劑TETRA-120-LF-PC

技術數據：

控制柜：

寬23.6英寸，高84.6英寸，深39.4英寸

腔室：

寬47.2英寸，高5.9英寸，深66.9英寸

腔室容積：

約120升

供氣：

通過MFC的4個氣體通道